上海軒儀儀器設(shè)備有限公司經(jīng)銷各種等離子體清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)又叫等離子表面清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、低溫等離子處理設(shè)備、常壓等離子處理機(jī)等。等離子清洗機(jī)能夠?qū)ξ矬w表面進(jìn)行徹底的清洗和活化作用，從而起到想要的作用。等離子體清洗機(jī)目前被廣泛的應(yīng)用于包裝、印刷、噴碼、電子、國(guó)防等行業(yè)。今天讓我們來(lái)看看等離子體清洗機(jī)的分類有哪些？

　　等離子體清洗機(jī)的分類可以按照激發(fā)頻率和反應(yīng)類型來(lái)分類。

1、 按照激發(fā)頻率分類

　　常用的等離子體激發(fā)頻率有三種：

　　1）超聲等離子體：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體

　　2）射頻等離子體：13.56MHz的等離子體

　　3）微波等離子體：2.45GHz的等離子體

　　不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣。超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十，而且三種等離子體的機(jī)制不同。超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響最大，因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。

　　注：

　　等離子態(tài)的密度和激發(fā)頻率有如下關(guān)系： 

　　nc=1.2425×108v2 

其中nc為等離子態(tài)密度（cm-3），v為激發(fā)頻率（Hz）。 

2、按照反應(yīng)類型分類 

　　等離子體與固體表面發(fā)生反應(yīng)可以分為物理反應(yīng)（離子轟擊）和化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)。 

　　以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，腐蝕作用各向異性；缺點(diǎn)就是對(duì)表面產(chǎn)生了很大的損害，會(huì)產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對(duì)被清洗表面的各種不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度較低。以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗的優(yōu)點(diǎn)是清洗速度較高、選擇性好、對(duì)清除有機(jī)污染物比較有效，缺點(diǎn)是會(huì)在表面產(chǎn)生氧化物。

　　和物理反應(yīng)相比較，化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)不易克服。并且兩種反應(yīng)機(jī)制對(duì)表面微觀形貌造成的影響有顯著不同，物理反應(yīng)能夠使表面在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗糙”，從而改變表面的粘接特性。還有一種等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進(jìn)，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng)；其效果是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。 

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