設備不起輝主要有兩個方面:一是真空度不夠,儀器正常工作時真空度一般在70-100Pa之間。二是主機設備出現故障,你可以找一個短一點的日光燈管代替反應艙。將其放入艙體內。開主機電源、開功率旋鈕,觀察燈管是否有產生輝光。(此時反應艙體應該為常壓,即不抽真空)如果燈管沒有產生輝光,即儀器有問題,檢查射頻電源等相關電子部分(最好請廠家幫助檢查)。如果燈管產生輝光即真空部分有問題,檢查真空系統(如真空管接口是否松動,真空管是否老化漏氣等等)。
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