等離子體表面處理在光學儀器的應用

   光學鏡片的鍍膜技術是整個光學系統的一個重要組成部分，良好的鍍膜技術能改善鏡片的折射率、阿貝數、散射、衍射和化學性能。光學薄膜真空鍍膜技術一般采用物理氣相沉積（PVD）技術，包括熱蒸發、濺射、離子鍍等方法。而在鍍膜前的光學鏡片一般須經過離心力清洗機和超聲波清洗機清洗，但若想要得到超潔凈的基體表面，則需進一步的采用等離子體清洗，不僅能去除表面經離心力清洗和超聲波清洗后的有機殘留物，還能對于后道鍍膜技術起到積極作用。

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