等離子體表面處理在新能源行業的應用

玻璃基板：

使用等離子體技術，對材料表面進行轟擊，可有效去除表面污染物，使工件表面親水性大大提高。清洗后的水滴夾角小于5度，為下道工序的進行奠定良好基礎。

陽極表面改性：

用等離子體技對ITO陽極進行表面改性，可有效優化其表面化學組成，大大降低方塊電阻，從而有效提高能量轉換效率，改善器件的光伏性能。

涂保護膜前處理：

硅片表面非常光亮，會反射掉大量的太陽光。因此，在其上沉積一層反射系數非常小的氮化硅保護膜是非常必要的。通過采用等離子體技術，可活化硅片表面，大大提高其表面附著力。

電池行業

● 極耳、極片、電極柱的焊接改善，提升品質，降低內阻；

● 外殼涂裝前處理，提高附著力；

●電池正負極材料分切后處理，清除表面顆粒物，提高電芯品質；

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