簡要介紹什么是等離子清洗機

什么是等離子清洗機?

  等離子清洗機(Plasma Cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體達到常規清洗方法無法達到的效果。

  等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學法去除材料表面污染物。氣相化學法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學氣體或等離子態反應氣體導入反應室，反應氣體與晶片表面發生化學反應生成易揮發性反應產物被真空抽去。

  等離子體基礎知識：

  等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。

  等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

  等離子清洗的優勢：

  滿足無損傷和抑制腐蝕的新工藝要求。等離子清洗原理與超聲波原理不同，當艙體里接近真空狀態時，開啟射頻電源，這時氣體分子電離，產生等離子體，并且伴隨輝光放電現象。

  等離子體在電場下加速，從而在電場作用下高速運動，對物體表面發生物理碰撞，等離子的能量足以去除各種污染物，同時氧離子可以將有機污染物氧化為二氧化碳和水蒸氣排出艙體外。

  等離子清洗不需要其他的原料，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒有污染，同時比超聲波清洗更具有的優勢是等離子不但可以進行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性。

等離子體與物體表面進行化學反應能夠產生活性化學集團，這些化學集團有很高的活性，從而應用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，綁定性，親水性等等很多方面，因此等離子清洗已經成為清洗行業的主流趨勢。

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