淺談高頻感應等離子體發生器

【真空等離子清洗機】高頻感應等離子體發生器又稱高頻等離子體炬，或稱射頻等離子體炬。它利用無電極的感應耦合，把高頻電源的能量輸入到連續的氣流中進行高頻放電。高頻等離子體發生器及其應用工藝有以下新特點：

  ①只有線圈，沒有電極，故無電極損耗問題。

  發生器能產生極純凈的等離子體，連續使用壽命取決于高頻電源的電真空器件壽命，一般較長，約為2000～3000小時。在等離子體高溫下，由于參加反應的物質不存在被電極材料污染的問題,故可用來煉制高純度難熔材料,如熔制藍寶石、無水石英，拉制單晶、光導纖維、煉制鈮、鉭、海綿鈦等。

  ②高頻等離子體流速較低（約0～103米／秒），弧柱直徑較大。

  近年來，已廣泛應用于實驗室，便于作大量等離子體過程試驗。工業上制備金屬氧化物、氮化物、碳化物或冶煉金屬時，反應物在高溫區停留時間長，使氣相反應很充分。根據電源與等離子體耦合的方式不同，高頻等離子體炬可分為：電感耦合型、電容耦合型、微波耦合型和火焰型。【真空等離子表面處理機】

  高頻等離子體炬由三部分組成：高頻電源、放電室、等離子體工作氣供給系統。后者除了供軸向工作氣外,還像電弧等離子體炬氣穩弧一樣,切向供入旋轉氣流以冷卻并保護放電室壁(通常用石英或耐熱性較差的材料)。【等離子噴槍】

  高頻等離子體炬在工業中已有多方面的應用，特別是在等離子體化工、冶金和光學材料提純等方面。它還可制備超導材料，如用氫高頻等離子體還原釩－硅（或釩－鍺），鈮－鋁（或鈮－鍺）的氯化物蒸氣以制備超導材料。

  中國冶金、采礦企業中需處理的鈦礦石、含釩礦渣、磷礦石以及工業難熔廢料含稀有材料的礦渣很多，采用高頻等離子體炬是頗有前途的冶煉手段，可從中煉出有用的金屬和稀有元素。

高頻等離子體發生器的功率輸出范圍為0.5～1兆瓦，效率為50％～75％，放電室中心溫度一般約高達7000～10000開。【等離子表面清洗】 

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