等離子體表面工藝主要用于以下兩方面。
① 離子體表面處理:
為了提高刀具、模具等的性能,可以用等離子體對金屬表面進行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點是,不是在表面加一覆蓋層,【真空等離子清洗機】而是改變基體表面的材料結構及其性能。
處理過程中,工件溫度比較低,不使工件變形,這對精密的部件很重要。這一方法可以應用于各種金屬基體,主要有輝光放電滲氮,氮碳共滲,滲硼。
②等離子體在電子工業中的應用:
大規模集成電路片心的生產工藝,過去采用化學方式,現在采用等離子體方法代替之后,不僅降低了工藝過程中的溫度,還因將涂膠、顯影、刻蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法,使工藝更簡單,便于實現自動化,提高成品率。【常壓等離子設備】
等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高,對提高集成度及可靠性均有利。
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